同時開催展あり。真空ポンプ、真空計測器、真空部品・材料、真空冶金装置、真空化学装置、真空薄膜形成加工装置、ガス分析装置、真空排気装置、試験装置、表面分析装置、表面観察装置、その他の真空利用装置、サービス業務ほか
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